电子工业超纯水设备工艺及使用
电子工业超纯水设备工艺概述 高纯水又名超纯水,是指化学纯度极高的水,其主要应用在生物、化学化工、冶金、宇航、电力等领域,但其对水质纯度要求相当高,所以一般应用普遍的还是电子行业。 在超纯水设备的生产过程中,水中的阴阳离子可用电渗析法、反渗透法及离子交换技术等去除,水中的颗粒一般可用超过滤、膜过滤等技术去除;水中的细菌,目前国内多采用加药或紫外灯照射或臭氧杀菌的方法去除;水中的TOC则一般用活性炭、反渗透处理。在高纯水的应用领域中,水的纯度直接关系到器件的性能、可靠性,因此高纯水要求具有相当高的纯度和精度。 超纯水设备的使用 离子交换混床是通过离子交换树脂在电解质溶液中进行的,可去除水中的各种阴、阳离子,是目前制备超纯水工艺流程中不可替代的手段。离子交换器分为阳离子交换器、阴离子交换器等。当原水通过离子交换柱时,水中的阳离子和水中的阴离子(HCO3-等离子)与交换柱中的阳树脂的H+离子和阴树脂的OH-离子进行交换,从而达到脱盐的目的。阳、阴混柱的不同组合可使水质达到更高的要求,生产出达到更高标准的超纯水。 离子交换法是目前国内外制水行业普遍采用的较为理想的方法,也是经济有效的化学法之一,离子交换是一种利用阴阳交换树脂对离子的选择性及平衡反应原理,去除水中电解质离子的技术。是一套完整成熟的制水工艺,现广泛为广大用户认可。 电子工业超纯水设备再生活化原理: 当设备运行一段时间,树脂失效,此时需再生,使其恢复交换能力。 电子工业超纯水设备注意事项: 1.操作人员应具备纯水设备基础知识,掌握操作规程。 2.本设备严禁超压负荷工作。 3.电机应定期检查。 4.长期闲置不用,应定期搅动,以免树脂发霉。 电子工业超纯水设备制备工艺 1、采用离子交换树脂制备超纯水的传统水处理方式,其基本工艺流程为:原水→沙炭过滤器→精密过滤器→原水箱→阳床→阴床→混床(复床)→纯水箱→纯水泵→后置精密过滤器→用水点 2、采用反渗透水处理设备与离子交换设备进行组合的方式,其基本工艺流程为:原水→沙炭过滤器→精密过滤器→原水箱→反渗透设备→混床(复床)→纯水箱→纯水泵→后置精密过滤器→用水点 3、采用反渗透水处理设备与电去离子(EDI)设备进行搭配的方式,这是一种制取超纯水的新工艺,也是一种环保,经济,发展潜力巨大的超纯水制备工艺,其基本工艺流程为:原水→沙炭过滤器→精密过滤器→原水箱→反渗透设备→电去离子(EDI)→纯水箱→纯水泵→后置精密过滤器→用水点 电子工业超纯水设备技术特点
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